Les technologies modernes (microélectronique, nanotechnologies, stockage de l’information, etc.) nécessitent des capteurs de positionnement de plus en plus précis. Les capteurs interférométriques classiques exigent un strict contrôle des conditions ambiantes, et leur précision diminue avec la longueur mesurée. Notre capteur optique innovant produit des franges d’interférence grâce à l’illumination de 2 réseaux de diffraction transparents par une source laser.

Le déplacement d’un réseau par rapport à l’autre crée, sur un photodétecteur, un signal modulé sinusoidalement en amplitude, de période égale à celle des réseaux. Le comptage du défilement des franges permet la mesure du déplacement avec une précision de l’ordre de la dizaine de nanomètres.La période du signal enregistré étant indépendante de la longueur d’onde du laser,elle est indépendante de l’indice de réfraction du milieu ambiant. En conséquence, elle n’exige ni d’opérer sous vide, ni de contrôler les conditions atmosphériques. L’éclairage des réseaux sous l’incidence de Littrow produit des ordres diffractés en transmission d’égales intensités et de direction symétriques par rapport à la normale aux réseaux. Ils interfèrent donc avec un contraste maximum, sans nécessiter des profils de réseaux optimisés. Le capteur fournit une précision indépendante de la longueur mesurée.Trois capteurs peuvent en outre être montés sur une seule tête de mesure, ce qui permet un positionnement dans l’espace à 3 dimensions. Enfin, l’utilisation de réseaux gravés sur un secteur permet la mesure de rotations avec un précision de l’ordre de 10-5° et moins.