Bernard Vidal

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Optix

4ème concours national d’aide à la création d’entreprises de technologies innovantes – CNACETI 2002, en émergence

Optix

Secteur : Sciences & Technologies de l'ingénieur

Champs d'application : Lithographie, optiques UV, nano objets

Laboratoire associé : Laboratoire d'optique en rayonnement X-UV et neutronique du L2MP

État du projet ou de l'entreprise : Abandon

Le projet Optix ou Nanopt.X a pour vocation la production de supers miroirs. Ces super miroirs issus de la recherche fondamentale en optique en Rayonnement X-EUV sont quasiment introuvable sur le marché mondial. Les technologies mises en jeu par le projet Nanopt.X se situent dans les recherches visant la réduction de la taille des circuits microélectroniques d’un facteur 10.

Ce qui revient à intégrer cent fois plus de fonction à l’intérieur d’une même puce. Ce changement d’échelle exige des procédés de lithographie (reproduction) qui appartiennent au monde de la nanotechnologie avec la réalisation de couches ultra minces de quelques dizaines d’angström (Å =un dix-milionnième de mn).

Le laboratoire d’optique en rayonnement X-UV et neutronique possède une connaissance de pointe dans le domaine issu d’une longue tradition marseillaise de la recherche en optique. En s’appuyant sur ces travaux théoriques, le projet Optix ou Nanopt.X vise à créer des photo-répéteurs en EUV (extrême ultra violet) pour les miroirs multicouches de prochaine génération. En apportant des solutions industrielles pour le traitement de surface par UV, il prendrait ainsi une bonne position dans la microélectronique des années 2005-2010.

Lauréat du concours à la création d’entreprise, Optix ou Nanopt.X bénéficie également de travaux menés dans d’importants programmes de recherche comme preuve. Ce projet est encadré par plusieurs brevets et reçoit le soutien d’industriels régionaux en microélectronique.